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A clean robot transfers Mask and Pellicle from each cassette to Mounting device, and mounting Pellicle to mask, and a clean robot returns pelliclized mask back to a cassette automatically. |
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| Product Name | Pellicle Mounter System |
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| Model Number | M515KS |
| Dimension | 2000mmW×1600mmD×2510mmH |
| Weight | approx. 2,400kg |
| Peliclizing force | 0.035～0.4kN |
| Pellicleizing time | 0-999 sec. |
| pellclization Precision | <=±0.2mm |
| 対応ペリクル | 短辺 : 109～124mm 長辺 : 147～150mm 高さ : 2.90～6.3mm 治具穴ピッチ : 104mm ※オートマウンター専用のペリクルケースに入った物 |
| マスク品種 | 6025マスク |
| Mask case | SMIF-Pod (RSP200) |