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ペリクルリムーバーM777
ペリクルのマスク接着剤を加温し、独自の剥離機構でフォトマスクからペリクルを剥離する装置です。剥離するペリクルのメーカー、マスク接着剤等に応じて剥離レシピを作成、・設定することができ、フォトマスクに負担をかけずにペリクルを …
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ペリクルマウンターシステム M515KS
設定された貼付条件に従い、クリーンロボットがマスク及びペリクルを各々のカセットから貼付部に搬送し、マスクにペリクルを貼り付けます。ペリクル貼付後のマスクはクリーンロボットが回収して、元のカセットに収納する装 …
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FPDペリクルマウンター M515L-Ⅲ
設定条件を元に大型FPD用マスクにペリクルを貼り付ける装置です。 製品名 FPDペリクルマウンター 型 式 M515L-Ⅲ 機械寸法 3000W*1670D*2500H 貼付荷重 300-3000Ｎ 貼付時間 0-999 …
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セミオートペリクルマウンター M515KA
ハンドリング冶具によりセットされたマスクとペリクルを所定の貼付条件(加圧時間・加圧重量)で貼り合わせる装置です。 製品名 セミオートペリクルマウンター 型 式 M515KA 機械重量 約180kg ペリクル貼付荷重 0. …
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マスク移載機 M695, M758
クリーンロボットがマスクを各種ケース(マスクケース、NSRケース、FPAケース、PDケース、SMIF Podなど)間での移載を行う装置です。 製品名 マスク移載機 型 式 M695, M758 機械寸法 1630W*16 …
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マスクハンドラー M726
ステージ上にセットされたマスクの反転、回転作業を半自動で行うための装置です。 製品名 マスクハンドラー 型 式 M726 機械寸法 400W*670D*484H
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