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ペリクルのマスク接着剤を加温し、独自の剥離機構でフォトマスクからペリクルを剥離する装置です。剥離するペリクルのメーカー、マスク接着剤等に応じて剥離レシピを作成、・設定することができ、フォトマスクに負担をかけずにペリクルを剥離することが出来ます。 |
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| 製品名 | ペリクルリムーバー |
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| 型 式 | M777 |
| 機械寸法 | 700mmW×550mmD×650mmH |
| 機械重量 | 約90kg |
| 対象ワークサイズ | |
| 1) マスクサイズ | 6″マスク |
| 2)ペリクルサイズ | ペリクル短辺寸法 105mm～134mm |
| θ軸ストローク | 0°～±5° |
| Ｚ軸ストローク | 34.44mm（固定） |
| ヒーター仕様 | セラミッククリーンヒーター |
| ユーティリティ | 電源： AC100V, 10A, 50/60Hz |
| ※ ペリクルは次の条件を満たすものとする |
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| 治具穴位置：センター振り分け104mmピッチ、マスク接着面から2.3mm 治具穴径 ： Φ1.6mm |