FPDペリクルマウンター M515L-Ⅲ 設定条件を元に大型FPD用マスクにペリクルを貼り付ける装置です。 製品名 FPDペリクルマウンター 型 式 M515L-Ⅲ 機械寸法 3000W*1670D*2500H 貼付荷重 300-3000Ｎ 貼付時間 0-9999秒 貼付位置精度 ≦±0.5mm 機械重量 約5000kg 最小対応マスクサイズ 390mm*610mm*6mmT 最大対応マスクサイズ 1300mm*1500mm*15mmT
