セミオートペリクルマウンター M515KA ハンドリング冶具によりセットされたマスクとペリクルを所定の貼付条件(加圧時間・加圧重量)で貼り合わせる装置です。 製品名 セミオートペリクルマウンター 型 式 M515KA 機械重量 約180kg ペリクル貼付荷重 0.035～0.4kN ペリクル貼付時間 0～999秒 ペリクル貼付精度 ±0.2mm(基準面に対して） 対応ペリクル 短辺 : 109～124mm 長辺 : 147～150mm 高さ : 2.90～6.3mm 治具穴ピッチ : 104mm マスク品種 6025マスク
