FPDペリクルマウンター M515L-Ⅲ


FPDペリクルマウンターM515L-Ⅲ 設定条件を元に大型FPD用マスクにペリクルを貼り付ける装置です。
製品名 FPDペリクルマウンター
型 式 M515L-Ⅲ
機械寸法 3000W*1670D*2500H
貼付荷重 300-3000N
貼付時間 0-9999秒
貼付位置精度 ≦±0.5mm
機械重量 約5000kg
最小対応マスクサイズ 390mm*610mm*6mmT
最大対応マスクサイズ 1300mm*1500mm*15mmT