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2008/12/01
■ ペリクルリムーバーの情報を更新しました。
 
ペリクルのマスク接着剤を加温し、独自の剥離機構でフォトマスクからペリクルを剥離する装置、ペリクルリムーバM777の情報を更新しました。
剥離するペリクルのメーカー、マスク接着剤等に応じて剥離レシピを作成、・設定することができ、フォトマスクに負担をかけずにペリクルを剥離することが出来ます。


ペリクルリムーバー M777 詳細