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  ペリクルリムーバーM777    
 
各種自動機
繊維・包装機分野


ペリクルのマスク接着剤を加温し、独自の剥離機構でフォトマスクからペリクルを剥離する装置です。剥離するペリクルのメーカー、マスク接着剤等に応じて剥離レシピを作成、・設定することができ、フォトマスクに負担をかけずにペリクルを剥離することが出来ます。

 
製品名 ペリクルリムーバー
型 式 M777
機械寸法 700mmW×550mmD×650mmH
機械重量 約90kg
対象ワークサイズ  
1) マスクサイズ 6″マスク
2)ペリクルサイズ ペリクル短辺寸法 105mm〜134mm
θ軸ストローク 0°〜±5°
Z軸ストローク 34.44mm(固定)
ヒーター仕様 セラミッククリーンヒーター
ユーティリティ 電源: AC100V, 10A, 50/60Hz
※ ペリクルは次の条件を満たすものとする
治具穴位置:センター振り分け104mmピッチ、マスク接着面から2.3mm
治具穴径 : Φ1.6mm