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  ペリクルリムーバーM777    
 
各種自動機
繊維・包装機分野


設定条件を元に大型FPD用マスクにペリクルを貼り付ける装置です。

製品名 FPDペリクルマウンター
型 式 M515L-V
機械寸法 3000W*1670D*2500H
貼付荷重 300-3000N
貼付時間 0-9999秒
貼付位置精度 ≦±0.5mm
機械重量 約5000kg
最小対応マスクサイズ 390mm*610mm*6mmT
最大対応マスクサイズ 1300mm*1500mm*15mmT