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半導体・FPD分野
  ペリクルリムーバーM777    
 
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繊維・包装機分野


オートペリクルマウンター オートペリクルマウンター
設定された貼付条件に従い、クリーンロボットがマスク及びペリクルを各々のカセットから貼付部に搬送し、マスクにペリクルを貼り付けます。ペリクル貼付後のマスクはクリーンロボットが回収して、元のカセットに収納する装置です。

オートペリクルマウンター
製品名 オートペリクルマウンター
型 式 M515-U
機械寸法 1400mmL* 2300mmW*2230mmH(上部ULPA含む)
機械重量 約1800kg
ペリクル加圧重量 20-40kg
ペリクル加圧時間 0-999秒
ペリクル貼付精度 ≦±0.3mm(基準面より)
ペリクル品種 5" 及び 6"
マスク品種 5" 及び 6"
マスクケース ステッパーケース、各種カセットSMIF POD等に対応。