ペリクルマウンターシステム M515KS

 

ペリクルマウンターシステム M515KS 設定された貼付条件に従い、クリーンロボットがマスク及びペリクルを各々のカセットから貼付部に搬送し、マスクにペリクルを貼り付けます。ペリクル貼付後のマスクはクリーンロボットが回収して、元のカセットに収納する装置です。
製品名 ペリクルマウンターシステム
型 式 M515KS
機械寸法 2000(W)×1600(D)×2510(H)(mm)
機械重量 約2,400kg
ペリクル貼付荷重 0.035~0.4kN
ペリクル貼付時間 0~999秒
ペリクル貼付精度 ±0.2mm(基準面に対して)
対応ペリクル 短辺 : 109~124mm
長辺 : 147~150mm
高さ : 2.90~6.3mm
治具穴ピッチ : 104mm
※オートマウンター専用のペリクルケースに入った物
マスク品種 6025マスク
マスクケース SMIF-Pod (RSP200)