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急速に高集積化する半導体。松下精機では技術力を集結し、これからの半導体・FPD製造に欠かせないペリクルの自動装着装置を始め、各種マスク関連装置を開発し、好評を頂いております。



ペリクルリムーバー M777

オートペリクルマウンター M515U

FPDペリクルマウンター M515L-V
簡易型ペリクルマウンター M515K
マスク移載機 M695
マスクハンドラー M726